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IAS-M100化学药液浓度计


*稳定浓度，提升良率

助力半导体与新能源行业高效生产


IAS-M100系列化学药液浓度计是我司针对关键清洗和刻蚀工艺而设计的药液浓度分析仪器，主要应用于半导体工业、FPD、太阳能等高科技行业的湿法制程环节。设备可以对湿法刻蚀、清洗和光阻去除药液的浓度进行实时监控，能够及时有效的对药液浓度进行闭环定量控制，方便工作人员实时了解药液浓度变化，从而达到有效降低药液的无效消耗并减少异常清洗情况的发生。


IAS-M100系列参数标准

参数标准：

  • 名称 IAS-M100系列
  • 原理 光谱吸收法
  • SC1
    浓度范围一：
    NH3: 0%-5%, H2O2: 0%-10%, H2O: 85%-100%
    检测精度：NH3: ±0.25%, H2O2: ±0.3%, H2O: ±1.5%
    流速：20-40ml/min
    温度：20-80℃
    浓度范围二：
    NH3: 0%-2%, H2O2: 0%-2%, H2O: 96%-100%
    检测精度：NH3: ±0.1%, H2O2: ±0.2%, H2O: ±1.5%
    流速：20-40ml/min
    温度：20-80℃
  • SC2
    浓度范围：
    HCl: 0%-2%, H2O2: 0%-2%, H2O: 96%-100%
    检测精度：HCl: ±0.15%, H2O2: ±0.15%, H2O: ±1.5%
    流速：20-40ml/min
    温度：20-80℃
  • HFN
    浓度范围：
    HF: 0%-1%, HNO3: 66%-70%, H2O: 27.5%-34.0%
    检测精度：HF: ±0.08%, HNO3: ±0.4%, H2O: ±0.5%
    流速：20-40ml/min
    温度：20-40℃
  • SPM
    浓度范围：
    H2SO4: 70.0%-96.0%，H2O2：0.0%-5.0%，H2O：4.0%-30.0%
    检测精度：H2SO4: ±0.5%, H2O2：±0.3%，H2O：±1.5%，
    流速：20-60ml/min，
    温度：20-30℃（无冷却），
    20-130℃（水冷）
  • 液体压力 0.1-0.2Mpa
  • 通气压力 0.3-0.5Mpa
  • 测试时间 约3s/次
  • 设备使用温度 20-25°C，避免环境温度的突然变化
  • 操作界面显示内容

    1. 药液检测浓度

    2. 报警信息显示:药液检测指标的上上限、上限、下下限、下限

    3. 报警信息阈值设置:药液检测指标的上上限、上限、下下限、下限

  • 通讯接口 RS232、RS485、网口、并口、模拟量
  • 模拟量输出

    （4-20mA）

    1. 第一成分及测量值（%）

    2. 第二成分及测量值（%）（负载电阻小于500Ω, 电流误差为0.2%内）

  • 电源供应 24V DC±10%,约40W
  • 尺寸 285(W)*336(D)*239(H)mm
  • 重量 约12kg
  • 管路尺寸 外部配管(1/4inch),内部管(1/8inch)
  • 管路连接方式 Pillar Super type方式
* 9058、IDC960、BOE等更多种类药液，请联系我司获取。
*稳定浓度，提升良率， 助力半导体与新能源行业高效生产 IAS-M100系列化学药液浓度计是我司针对关键清洗和刻蚀工艺而设计的药液浓度分析仪器，主要应用于半导体工业、FPD、太阳能等高科技行业的湿法制程环节。设备可以对湿法刻蚀、清洗和光阻去除药液的浓度进行实时监控，能够及时有效的对药液浓度进行闭环定量控制，方便工作人员实时了解药液浓度变化，从而达到有效降低药液的无效消耗并减少异常清洗情况的发生。

应用领域:

SC1、SC2、HFN、SPM


开发参考标准：

  • ASTM E1655-05 Standard Practices for Infrared Multivariate Quantitative Analysis(多元定量分析规范)

  • ASTM E168-06 Standard Practices for General Techniques of Infrared Quantitative Analysis(红外定量分析通用技术规范)

  • ASTM E1790-04 Standard Practice for Near Infrared Qualitative Analysis(近红外定性分析规范)

  • 39-00 Near-Infrared Methods-Guidelines for Model Development and Maintenance(近红外方法-模型建立与维护通则)

  • 39-10 Near-Infrared Reflectance Method for Protein Determination in Small Grains(漫反射近红外测定小粒谷物蛋白方法)

  • 39-11 Near-Infrared Reflectance Method for Protein Determination in Wheat Flour(漫反射近红外测定面粉蛋白方法)

  • 39-20 Near-Infrared Reflectance Method for Protein and Oil Determination in Soybeans(漫反射近红外测定大豆蛋白和油脂方法)

  • 39-21 Near-Infrared Reflectance Method for Whole-Grain Analysis in Soybeans(漫反射近红外测定整粒大豆方法)

  • 39-25 Near-Infrared Reflectance Method for Protein Content in Whole-Grain Wheat(漫反射近红外测定整粒小麦蛋白含量方法)

  • 39-70A Near-Infrared Reflectance Method for Hardness Determination in Wheat(漫反射近红外测定小麦硬度方法)

  • ICC-159 Determination of Protein by Near Infrared Reflectance(NIR)Spectroscopy(漫反射近红外测定蛋白)

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